立式管式爐核心特點:垂直爐管、密閉氣氛/真空、樣品可懸掛、氣流軸向穩(wěn)定、爐管不易下垂,偏向小樣品、精密熱處理、氣相反應(yīng),多用于科研實驗室、新材料小試,部分場景可用于中試。
一、碳材料領(lǐng)域
1.石墨烯、氧化石墨烯高溫?zé)徇€原
2.碳納米管、碳納米纖維生長(CVD工藝)
3.碳纖維、炭布高溫碳化、石墨化熱處理
4.生物質(zhì)、有機前驅(qū)體高溫?zé)峤庵苽涠嗫滋疾牧?/p>
二、半導(dǎo)體與第三代半導(dǎo)體
1.SiC、GaN、氮化鋁晶圓退火、氧化、氮化處理
2.離子注入后高溫退火修復(fù)晶格缺陷
3.薄膜CVD沉積:氧化硅、氮化硅、金屬薄膜
4.半導(dǎo)體粉體、納米晶材料在惰性/還原氣氛下晶化
三、新能源電池材料
1.鋰電正負極材料前驅(qū)體煅燒、碳化、退火
2.固態(tài)電解質(zhì)粉體燒結(jié)、晶相調(diào)控
3.鈉電池、釩電池電極材料高溫?zé)崽幚?/p>
4.電池材料氣氛還原、脫雜處理
四、陶瓷、粉體與無機新材料
1.高純氧化鋁、氧化鋯、氮化硼、氮化硅粉體燒結(jié)
2.熒光粉、陶瓷色料高溫晶化、氣氛合成
3.催化劑(負載型金屬催化劑)高溫焙燒、還原、活化
4.納米氧化物、金屬粉體的真空/保護氣氛燒結(jié)
五、冶金、金屬材料熱處理
1.細小金屬試樣真空退火、去應(yīng)力
2.金屬粉末還原、合金化、燒結(jié)
3.金屬試樣釬焊、真空時效處理
4.稀有金屬、難熔金屬樣品高溫氣氛實驗
六、晶體生長與氣相合成
1.單晶、微納米晶體氣相生長
2.硫化物、硒化物、氧化物二維材料氣相沉積
3.氣相輸運法(CVT)制備單晶樣品
七、環(huán)境、化工與其他科研場景
1.固體廢棄物、生物質(zhì)熱解實驗(熱解油/氣研究)
2.地質(zhì)樣品、礦物高溫相變模擬實驗
3.材料抗高溫氧化、腐蝕性能測試
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